Химическая Обработка И Фотолитография В Производстве Полупроводниковых Приборов И Микросхем
| Publisher | Высшая Школа |
| Series | Профтехобразование. Радиоэлектроника |
| Printed by | Типография им. Анохина Управления по делам издательств, полиграфии и книжной торговли Совета Министров Карельской АССР |
| Editor | А. Ш. Долгова |
| Cover Art by | А. С. Александров |
| Art Director/Editor | В. П. Спирова |
| Technical Editor | Т. А. Новикова |
| Corrector | Г. А. Чечеткина |
| Format | Hardback |
| Language | Russian |
| Location | USSR, Moscow |
| This Edition Published | 1979 |
| Pages / Font | 272 pages |
| Price | 60 коп. |
| Notes | ББК 32.852 М 74 ИБ № 1835 Изд. № ЭГ-321. Сдано в набор 19.06.78. Подписано к печати 18.01.79. Т-03210. Формат 84Х108 1/32. Бумага тип. № 2. Гарнитура литературная. Печать высокая. Тираж 9000 экз. Заказ 2673. |
Added by degm